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超精密空氣靜壓懸浮滑動構件。搭配精密直線電機等自動化機電裝置，能實現納米級別的精準滑動及定位。
一軸式空氣滑動組件（實例：行程600mm 水平/垂直方向直線運動精度±0.2μｍ）
XY軸空氣滑動構件（實例：行程450mm 水平/垂直方向直線運動精度±0.3μｍ）
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